半导体封装元件切割

2022-12-29

“阵列基板种类越来越多,也日趋复杂,对后端工艺提出了严峻的挑战。将这些阵列基板切割成单个封装是制造过程中一个重要的步骤,在许多情况下,需要进行优化,大限度地降低封装的总体成本。随着封装尺寸的不断缩小,而产量和质量要求并未随之降低,许多阵列基板开始抛弃原先的剪切/冲压技术,转而使用切割技术。封装尺寸的缩小也影响到下游拾取-放置单元的集成,但这一问题超出了本文讨论的范围。全球装配工厂,包括很多独立封装代工厂(IPF)陆续搬迁到中国,因此,基板切割的趋势预计将对中国产业带来重大的影响。

以色列先进切割技术有限公司拥有30年的切割经验,为需要切割各种封装的客户开发了特定的流程,比如低温共烧陶瓷(LTCC)封装、表面声波装置、适于用图像传感器的晶圆级封装、球栅阵列封装(BGA)、四方无引脚封装(QFN)。

四方无引脚封装(QFN)使用复杂的基材,由延性(铜)和脆性(塑料模制)材料组成,体现了封装尺寸小型化和切割质量持续提升的趋势。全球QFN需求约为每年10亿只,预计年增长率达到20-30%。此部分的增加将挤占其他封装的需求,比如小外型集成电路(SOIC)等。以色列先进切割技术有限公司已经确定QFN的巨大潜力,并在过去三年里投入了大量的资源,根据客户的需求,为他们提供了全面的切割解决方案。”


摘自“基板切割工艺”

Ramon J. Albalak博士,前研发及工程经理

球栅整列封装(BGA)

描述:

球栅阵列封装以环氧树脂(FR4/5)或BT树脂作为基板,采用打线接合(wire-bonded)或覆晶(flip-chipped)将晶粒连接到基板。晶粒背面通常封装到环氧树脂中,封装没有引脚,通过焊球阵列连接到PCB。典型厚度为0.9 - 2.0 mm(包括焊球)。 常见的包装尺寸为4x4 - 20x20 mm。


主要注意事项:

• 切割质量:

• 崩边

• 碎片

• 凸块

• 迹线缺失


刀片寿命结束:

• 封装尺寸

• 刀刃露出部分结束


切割设备:

7223,全自动切割系统,内置清洁和紫外线固化,加长Y行程,适合双面大尺寸QFN,2.4KW高扭矩主轴。

刀片:

• 2"及3"烧结刀片,"42"、"B"、"A"基质,2" Novus" B"系刀片,适合胶带和夹具固定的基材

• 金刚石磨粒尺寸:30 - 55微米

• 厚度:.008” - .014”


工艺参数:

• 切割速度:75-200 mm/sec

• 主轴速度:2 ":30-45 krpm

3" :  20-30 krpm

4" :  10-16  krpm

• 多面板,采用UV胶带

• 磨刀量小,避免刀刃半径过大


四方扁平无引脚封装(QFN)

描述:

四方扁平无引脚(QFN)封装基于铜导线架,使用半封装技术,使晶粒后侧暴露在外。典型的晶粒尺寸为3x3 - 10x10 mm,但目前的趋势是尺寸越来越小。

主要分为三类:

Power QFN:厚度1.5-2.5mm(~0.5mm铜导线架)

标准HE QFN:厚度0.8-1.2mm (大0.2mm铜导线架)

Thin QFN:厚度0.4-0.6mm(大0.15mm铜导线架)


主要注意事项:

• 切割质量:

• 崩边

• 毛刺

• 导线碎屑

• 熔融

• 脱层

刀片寿命:

通常在暴露部分用尽时结束寿命


切割设备:

7223,全自动切割系统,内置清洁和紫外线固化,加长Y行程,适合双面大尺寸QFN,2.4KW高扭矩主轴。

刀片:

• 2"、3"和4"树脂刀片 "E"、"T"和"D"基质,烧结刀片"Q"基质

• 金刚石磨粒尺寸:45 - 105微米(树脂刀片),40 - 55微米(烧结刀片)

• 厚度:.008"- .020"


工艺参数:

• 切割速度:半蚀刻基材30-100 mm/sec,全铜基材10-40 mm/sec

• 主轴速度:2 ":25-30 krpm

3" :  15 - 25 krpm

4" :   8 - 15  krpm

• 多面板,采用UV胶带

• 刀片准备:主要是在某个基材上进行预切割(override),直到达到终进料速度


低温共烧陶瓷应用(LTCC)

描述:

低温共烧陶瓷(LTCC)基材使用耐火膜带与印制导线彼此叠加,采用共烧步骤制作而成。产品具有较低的介电常数和介电损耗,可以在多层结构中嵌入多层组件。

主要注意事项:

• 切割质量:

• 陶瓷碎片

• 裂痕

• 金属毛刺

• 封装尺寸


切割设备:

自动(7120系列)或全自动(7220系列)切割(切割)系统。

可处理大面积,完全支持多面板。

自动高度补偿,提高生产量,自动步进应对面板尺寸变形。

刀片:

• 2"、3"和4 "树脂刀片,"Q"和"K"基质

• 金刚石磨粒尺寸:15 - 30微米

• 厚度:.008"- .020"


工艺参数:

• 切割速度:5-25 mm/sec

• 主轴速度:10-40 krpm,取决于刀片外径

• 多面板,采用UV胶带


封装应用(LED)

描述:

LED封装通常由安装LED的基材组成,

市面上常见的基材是:陶瓷、PCB和QFN


主要注意事项:

• 崩边

• 裂痕

• 铜或硅毛刺

• 碎屑

• 脱层


切割设备:

7132或7900LA,自动化,质量控制,使用大面积切割卡盘,自动视觉功能,可处理多面板

刀片和工艺参数:

ADT根据封装类型:陶瓷、PCB和 QFN,定製了切割解决方案


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