简单易用性和超高可靠性的LaserScan™ 快速非接触式激光轮廓仪使激光扫描成为快速、准确测量表面的一个显著测量仪器。激光表面轮廓仪是一种用于质量保证和过程控制的模块化表面测量系统。根据具体的测量任务,它可以配备不同的激光传感器,使它成为一个独特的工具,以满足各种测量要求。它的软件功能允许在生产环境中实现自动化和灵活性。使用共焦激光技术使传感器能够区分不同的半透明层。这一独特的功能允许在透明顶层下测量第二和第三表面的厚度和轮廓。因此,激光扫描工具可以适应各种各样的表面而不保持超高精度。
•模块化设计
•测量速度快
•非接触和无损
•灵活且易于自动化
工程表面:详细金属件的形状、平整度和粗糙度的测量。金属板表面微观检验成型、波纹度和微观形貌的形状和体积特性。
IC封装/SMT:翘曲、铅共面性、激光打标深度和接触粗糙度的快速自动表征。焊膏体积和焊盘位置可测量亚微米精度。
厚膜/混合:自动测量生产参数,如印刷电阻层、导体路径和激光微调结构,包括新印刷的锡膏。这为丝网印刷过程提供了快速而精确的控制。
喷墨喷嘴:识别喷墨喷嘴的大小、位置和结构。
激光扫描仪配有两个激光点传感器:
传感器LT8010 or LT8110
测量范围[mm]: 0.6 or 2
垂直分辨率[μm]: 0.1 or 0.2
斑点大小[μm]: 2 or 7
间距[mm]: 5 or 28
测量频率[Hz]1400
线性度F.S.[%]: ±0.5 or ±0.3
轴上集成摄像头
工作平台系统规格
激光扫描采用可互换的传感器模块,该模块安装在固体上站台。那个样品放置在高度精确的计算机控制的x-y台上。桌子尺寸和桥梁高度可单独调整,以适应样本大小和测量任务。
该系统包括一个集成电子控制与新的CPU,运动控制和Windows 2000®操作系统。
平台 L100 or L200
可测面积[mm]100x100 or 200x200
分辨率[μm]0.5
平整度[μm/50 mm] <2 or <4
大允许载荷[N]100
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