Altas 非接触式表面平整度测量仪
美国Solarius ATLAS非接触式表面平整度测量仪是基于3D表面， 面向大批量生产，质量保证和过程控制模块化独立的表面测量系统
•超快测量
•灵活的传感器解决方案
•横向测量范围大
•定制测量程序
•广泛选择分析工具
•自动化可选其一
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美国Solarius ATLAS非接触式表面平整度测量仪是基于3D表面， 面向大批量生产，质量保证和过程控制模块化独立的表面测量系统
•超快测量
•灵活的传感器解决方案
•横向测量范围大
•定制测量程序
•广泛选择分析工具
•自动化可选其一
高速过程控制
Atlas 3D是一个模块化的独立表面测量质量保证和过程控制体系。通过采用高速传感器和振动隔离器适用于快速、生产配套测量和供实验室使用。通过其软件解决方案，该系统还支持自动化和提高效率在生产环境中。根据具体情况用户的需求可以用不同的3D来确定表面采集传感器。超快干涉仪允许高达80000点的高速测量130毫秒，分辨率高达4微米。
系统提供各种数据采集和有一个强大的分析软件，包括一个easyto-使用“配方”生成器编程重复测量常规和自动化任务图集。
测量范围
Atlas平台的横向测量范围为大400 mm x 400 mm。通过使用传感器利用共焦、干涉或线三角测量技术，根据配置，高度分辨率达到下降到10纳米。高度测量范围可达几厘米，取决于使用的传感器类型。
典型运用
•轮廓
•直线度
•面积
•几何结构
•平整度
•台阶
•磨损和撕裂
•层厚
•表面粗糙度3D 轮廓和面积 层厚
•翘曲
•表面粗糙度2D
除了参数化结果数据外，每个应用程序还提供测量表面的光学印象和不同的分析作为图表和效果图。
白光干涉感应器
传感器类型: 1 mm or 4 mm or 10 mm
垂直测量范围: 1.4 mm
参考距离: 18 mm
重复性（高度）: 0.1 um
横向测量范围: 1 mm x 1 mm or 4 mm x 4 mm or 10 mm x 10 mm
小探测面积：4 um x 4 u m or 15 um x 15 um or 40 um x 40 um
3R级激光
波长: 830 nm
测量时间: 133 ms/266 ms/532 ms（取决于模式）
线性精度: +/-2.8 m
彩色共焦点传感器
光学探头 0.2毫米 or 1毫米 or 4毫米 or 12毫米
应用距离 厚度
测量范围200 u m or 1 mm or 4 mm or 12 mm
工作距离4.7 mm or 15.7 mm or 36.7 mm or 29 mm
光斑直径3.4 um or 5 u m or 8 u m or 14 u m
横向分辨率1.7 u m or 2.5 u m or 4 u m or 7 u m
轴向分辨率8 nm or 40 nm or 160 nm or 180 nm
线性 150 nm or 400 nm or 1.6 u m- or -
与表面的测量角度为90°+/-45° or 90°+/-28° or 90°+/-20° or 90°±14°
测量范围：厚度 2）0.3毫米至1.5毫米至6毫米至16毫米
频率高达4000 Hz
光源LED
三角线传感器
传感器 5毫米 or 20毫米 or 40毫米 or 15-45mm or 15-82mm or 15-145mm 测量范围Z 5.9毫米 20毫米 40毫米 15毫米 15毫米 15毫米
Z-范围启动 38毫米 53毫米 50毫米 105毫米 165毫米 165毫米
分辨率（Z）3.9*27；m 13.3*27；m 26.6*27；m 0.24*27；m 0.47*27；m 0.87*27
分辨率（X）14,6um 39,6um 81um 11um 20um 35um
测量范围中间（X）4.5毫米12毫米24毫米45毫米82毫米145毫米
起始范围（X）3.9毫米10毫米20毫米44毫米80毫米141毫米
停止范围（X）5毫米13毫米27毫米46毫米85毫米149毫米
频率200 Hz/350 Hz（降低X分辨率） 14000 Hz
光源 激光器658nm 激光器660 nm/405 nm
激光器等级 2M 3R级（选件：功率增大的3B）
系统规格
设置独立系统
横向测量范围/行程范围：300 mm x 300 mm 400 mm x 400 mm
平整度阶段+/-5 m
大负载能力35 kg
垂直行程范围25 mm
尺寸[宽X深X高]： 690 mm X 710 mm X 1.600 mm 990毫米x 970毫米x 1.600毫米4）
重量164 kg/361 lb 4）251 kg/553 lb
电源电压100-240 V，50-60 Hz
文件格式SUR、TXT、CSV
计算机工业PC，包括显示器
SolarScant软件、SolarMap软件、定制分析软件
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